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BCl₃/Ar 플라즈마에 Cl₂ 가스 첨가에 따른 TiN 박막의 식각 특성

엄두승; 우종창; 김동표; 김창일

ArticleIssue Date2008Citation전기전자재료학회논문지, v.21, no.12, pp 1051 - 1056Publisher한국전기전자재료학회

Sm이 첨가된 PZT 박막의 강유전 특성

손영훈; 장의구; 김창일; 김경태; 이병기

ArticleIssue Date2004Citation전기전자재료학회논문지, v.17, no.2, pp 178 - 183Publisher한국전기전자재료학회

Ar/CF4 유도결합 플라즈마에서 식각된 (Ba0.6Sr0.4)TiO3 박막의 손상 감소

강필승; 김경태; 김동표; 김창일

ArticleIssue Date2003Citation전기전자재료학회논문지, v.16, no.6Publisher한국전기전자재료학회

Cl-based 플라즈마에 의한 YMnO3 박막의 식각 damage에 관한 연구

박재화; 김경태; 김동표; 김창일; 장의구

ArticleIssue Date2003Citation전기전자재료학회논문지, v.16, no.6Publisher한국전기전자재료학회

CeO2 Buffer Layer를 이용한 Pt/BLT/CeO2/Si 구조의 특성

이정미; 김경태; 김창일

ArticleIssue Date2003Citation전기전자재료학회논문지, v.16, no.10Publisher한국전기전자재료학회

Pt/Bi3.25La0.75Ti3O12/ZrO2/Si (MFIS)-FET 구조를 위한ZrO2 Buffer Layer의 영향

김경태; 김창일

ArticleIssue Date2005Citation전기전자재료학회논문지, v.18, no.5, pp 439 - 444Publisher한국전기전자재료학회

He/BCl₃/Cl₂유도결합 플라즈마를 이용한 TiN 박막의 식각 특성

우종창; 주영희; 박정수; 김창일

ArticleIssue Date2011Citation전기전자재료학회논문지, v.24, no.9, pp 718 - 722Publisher한국전기전자재료학회

플라즈모닉스 현상을 이용한 전반사 기반 다층 유전체 박막 센서의 특성 분석

김홍승; 이태경; 김두근; 정유라; 오금윤; 이병현; 기현철; 최영완

ArticleIssue Date2012Citation전기전자재료학회논문지, v.25, no.7, pp 516 - 520Publisher한국전기전자재료학회

졸겔법으로 제조된 Tb-doped PZT 박막의 강유전 특성

손영훈; 김창일; 김경태

ArticleIssue Date2004Citation전기전자재료학회논문지, v.17, no.9, pp 947 - 952Publisher한국전기전자재료학회

Ar/CF4 유도결합 플라즈마를 이용한 (Ba0.6Sr0.4)TiO3 박막의 식각 특성

강필승; 김경태; 김동표; 김창일; 이수재

ArticleIssue Date2002Citation전기전자재료학회논문지, v.15, no.11Publisher한국전기전자재료학회

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