ITO기판을 이용한 불순물 증착에 관한 연구
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | 박정철 | - |
dc.contributor.author | 추순남 | - |
dc.date.available | 2020-02-28T11:43:35Z | - |
dc.date.created | 2020-02-12 | - |
dc.date.issued | 2015 | - |
dc.identifier.issn | 2289-0238 | - |
dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/gachon/handle/2020.sw.gachon/11228 | - |
dc.description.abstract | 본 연구는 RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 ITO glass 위에 N-Type과 P-Type 박막을 증착하여 증착 조건에 따른 면저항 특성을 확인하였다. N-Type의 I-V특성은 RF Power가 150 W 일 때 전류의 값이 가장 높은 것으로 나타났고, 15분을 증착하였을 때 기울기가 일정하게 나타나면서 Ohmic contact이 잘 이루어지는 것을 확인 할 수 있었다. 기판온도와 RF Power 및 증착시간이 증가함에 따라 면저항이 증가하는 것으로 나타났고, 면저항이 작은 값일수록 I-V 특성이 잘 나타났다. P-Type 에서도 N-Type과 비슷한 양상을 보이는데, RF Power가 150 W일때 전류가 가장 높은 것으로 나타났고, 20분을 증착하였을 때 Ohmic contact이 잘 이루어지는 것을 확인 할 수 있었다. 면저항 또한 N-Type과 비슷하게 RF Power와 증착시간이 증가함에 따라 면저항이 증가하는 것을 확인 할 수 있었다. | - |
dc.language | 한국어 | - |
dc.language.iso | ko | - |
dc.publisher | 한국인터넷방송통신학회 | - |
dc.relation.isPartOf | 한국인터넷방송통신학회 논문지 | - |
dc.title | ITO기판을 이용한 불순물 증착에 관한 연구 | - |
dc.title.alternative | A Study on Impurity Deposition using of ITO Substrate | - |
dc.type | Article | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.description.journalClass | 2 | - |
dc.identifier.doi | 10.7236/JIIBC.2015.15.6.231 | - |
dc.identifier.bibliographicCitation | 한국인터넷방송통신학회 논문지, v.15, no.6, pp.231 - 238 | - |
dc.identifier.kciid | ART002070506 | - |
dc.citation.endPage | 238 | - |
dc.citation.startPage | 231 | - |
dc.citation.title | 한국인터넷방송통신학회 논문지 | - |
dc.citation.volume | 15 | - |
dc.citation.number | 6 | - |
dc.contributor.affiliatedAuthor | 박정철 | - |
dc.contributor.affiliatedAuthor | 추순남 | - |
dc.subject.keywordAuthor | ITO glass. RF power | - |
dc.subject.keywordAuthor | RF magnetron sputtering | - |
dc.subject.keywordAuthor | substrate temperature | - |
dc.subject.keywordAuthor | ohmic contact | - |
dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
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