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MOS-FET구조의 MWCNT 가스센서에서 Vgs의 변화에 따른 NOx 가스 검출 특성
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김현수 | - |
| dc.contributor.author | 장경욱 | - |
| dc.contributor.author | 박용서 | - |
| dc.date.available | 2020-02-28T21:42:03Z | - |
| dc.date.created | 2020-02-12 | - |
| dc.date.issued | 2014 | - |
| dc.identifier.issn | 1226-7945 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/gachon/handle/2020.sw.gachon/13785 | - |
| dc.description.abstract | 본 연구에서는 우수한 전도특성과 화학적 안정성 및 소형화가 가능하며, 대량 생산이 가능한 카본 나노튜브 (Carbon nanotubes)를 화학 기상 성장법 (Chemical Vapor Deposition)을 이용하여 MWCNT (Multi-walled carbon nanotube)를 제조하였으며, 제조된 MWCNT를 이용하여 MOS-FET 구조의 NOx 가스센서를 제작하였다. 제작된 가스센서의 홀효과 측정기를 통하여 구조적 및 전기적 특성을 분석하였으며, 가스센서의 게이트-소스사이의 전압변화에 따른 가스센서의 NOx 가스 검출 특성을 실험하였다. 또한, NOx 가스의 농도와 온도에 따른 가스센서의 동작, 민감도 및 게이트-소스 전압의 변화에 따른 흡착에너지 특성을 분석하였다. | - |
| dc.language | 한국어 | - |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 한국전기전자재료학회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 전기전자재료학회논문지 | - |
| dc.title | MOS-FET구조의 MWCNT 가스센서에서 Vgs의 변화에 따른 NOx 가스 검출 특성 | - |
| dc.title.alternative | NOx Gas Detection Characterization with Vgs in the MWCNT Gas Sensor of MOS-FET Type | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
| dc.identifier.doi | 10.4313/JKEM.2014.27.4.257 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 전기전자재료학회논문지, v.27, no.4, pp.257 - 261 | - |
| dc.identifier.kciid | ART001865256 | - |
| dc.citation.endPage | 261 | - |
| dc.citation.startPage | 257 | - |
| dc.citation.title | 전기전자재료학회논문지 | - |
| dc.citation.volume | 27 | - |
| dc.citation.number | 4 | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 김현수 | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 장경욱 | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 박용서 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | MWCNT (multi-walled carbon nano tube) | - |
| dc.subject.keywordAuthor | MOS-FET | - |
| dc.subject.keywordAuthor | NOx gas sensor | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Vgs (gate-source voltage) | - |
| dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
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Related Researcher
- Park, Yong Seo
- IT (Department of Electrical Engineering)