MOS-FET 구조의 MWCNT 가스센서를 이용한 초희박 NOx 가스 검출 특성
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | 김현수 | - |
dc.contributor.author | 이승훈 | - |
dc.contributor.author | 장경욱 | - |
dc.date.available | 2020-02-29T02:44:09Z | - |
dc.date.created | 2020-02-12 | - |
dc.date.issued | 2013 | - |
dc.identifier.issn | 1226-7945 | - |
dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/gachon/handle/2020.sw.gachon/15373 | - |
dc.description.abstract | 본 연구에서는 우수한 전도특성과 화학적 안정성, 및 소형화가 가능하며, 대량 생산이 가능한 카본 나노튜브 (Carbon nanotubes)를 이용하여 MOS-FET 구조의 가스센서를 제작하였다. CNT를 CVD법을 이용하여 MWCNT (multi-walled carbon nanotuve)를 제조하였으며, 제조된 MWCNT를 이용하여 MOS-FET 구조의 NOx 가스센서를 제작하였다. 제작된 가스센서를 이용하여 게이트-소스사이에 전압을 인가 시 가스센서의 특성을 실험 하였으며, 가스센서의 SEM 및 홀효과 측정기를 통하여 구조적 및 전기적 특성을 분석하였다. 또한, NOx 가스의 농도와 온도에 따른 가스센서의 동작, 민감도 및 흡착에너지 특성을 분석하였다. | - |
dc.language | 한국어 | - |
dc.language.iso | ko | - |
dc.publisher | 한국전기전자재료학회 | - |
dc.relation.isPartOf | 전기전자재료학회논문지 | - |
dc.title | MOS-FET 구조의 MWCNT 가스센서를 이용한 초희박 NOx 가스 검출 특성 | - |
dc.title.alternative | Detection Characteristics for the Ultra Lean NOx Gas Concentration Using the MWCNT Gas Sensor Structured with MOS-FET | - |
dc.type | Article | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.description.journalClass | 2 | - |
dc.identifier.doi | 10.4313/JKEM.2013.26.9.707 | - |
dc.identifier.bibliographicCitation | 전기전자재료학회논문지, v.26, no.9, pp.707 - 711 | - |
dc.identifier.kciid | ART001800726 | - |
dc.citation.endPage | 711 | - |
dc.citation.startPage | 707 | - |
dc.citation.title | 전기전자재료학회논문지 | - |
dc.citation.volume | 26 | - |
dc.citation.number | 9 | - |
dc.contributor.affiliatedAuthor | 김현수 | - |
dc.contributor.affiliatedAuthor | 장경욱 | - |
dc.subject.keywordAuthor | MWCNT (multi-walled carbon nano tube) | - |
dc.subject.keywordAuthor | MOS-FET | - |
dc.subject.keywordAuthor | NOx Gas sensor | - |
dc.subject.keywordAuthor | Ultra lean concentrations | - |
dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
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