RF Power 변화에 의한 CdS 박막 특성에 관한 연구
DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 이달호 | - |
dc.contributor.author | 박정철 | - |
dc.date.available | 2021-04-30T07:35:05Z | - |
dc.date.created | 2021-04-30 | - |
dc.date.issued | 2021-04 | - |
dc.identifier.issn | 2005-081X | - |
dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/gachon/handle/2020.sw.gachon/80889 | - |
dc.description.abstract | 본 논문은 ITO 유리를 기판으로 사용하여 CdS 박막을 제작하였다. MDS (Multiplex Deposition Sputter System)을 이용하여 RF power와 증착시간을 변화시키면서 소자를 제작하였다. 제작된 시편은 광학적 특성에 대해 분석을 하였다. 본 논문의 목적은 태양전지의 광흡수층에 적용될 수 있는 제작조건을 찾는 것이다. RF power가 50W이고 증착시간이 10분 일 때, 두께는 64Å로 측정되었다. 100W일떄, 두께는 406Å로 측정되었고, 150W일 때는 두꼐는 889Å로 측정되었다. 박막은 RF power가 증가할수록 두께가 증가되는 것을 확인하였다. 광투과율 측정한 결과, 550~850nm는 RF power가 50W, 100W, 150W일 때 모두 투과율이 대략 70% 이상으로 관찰되었다. RF power가 증가되면 두께가 증가되고 입자 크기가 커지므로 박막의 밀도가 증가되어 광투과율이 감소되었다. RF power를 100W로 하고 증착시간을 15분 일 때, 밴드갭은 3.998eV로 계산되었다. 증착시간을 20분일 때, 3.987eV이고 150W는 15분에서는 3.965eV이며 20분에서는 3.831eV이다. RF power가 증가하면 밴드갭이 증가하는 것으로 측정되었다. XRD 분석에서 RF power와 증착시간의 변화에 관계없이 2Θ=26.44에서의 회절 피크를 관찰할 수가 있었다. 반치폭은 증착시간이 증가하면 감소되는 것을 알 수가 있었다. 그리고 RF power를 일정하게 하고 증착시간을 증가하면 입자크기는 증가되는 것으로 측정되었다. | - |
dc.language | 한국어 | - |
dc.language.iso | ko | - |
dc.publisher | 한국정보전자통신기술학회 | - |
dc.relation.isPartOf | 한국정보전자통신기술학회 논문지 | - |
dc.title | RF Power 변화에 의한 CdS 박막 특성에 관한 연구 | - |
dc.title.alternative | The Korea Institute of Information, Electronics, and Communication Technology | - |
dc.type | Article | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.description.journalClass | 2 | - |
dc.identifier.bibliographicCitation | 한국정보전자통신기술학회 논문지, v.14, no.2, pp.122 - 127 | - |
dc.identifier.kciid | ART002710714 | - |
dc.description.isOpenAccess | N | - |
dc.citation.endPage | 127 | - |
dc.citation.startPage | 122 | - |
dc.citation.title | 한국정보전자통신기술학회 논문지 | - |
dc.citation.volume | 14 | - |
dc.citation.number | 2 | - |
dc.contributor.affiliatedAuthor | 이달호 | - |
dc.contributor.affiliatedAuthor | 박정철 | - |
dc.subject.keywordAuthor | band gap | - |
dc.subject.keywordAuthor | density | - |
dc.subject.keywordAuthor | ITO glass | - |
dc.subject.keywordAuthor | photoabsorption | - |
dc.subject.keywordAuthor | RF power | - |
dc.subject.keywordAuthor | transmittance | - |
dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
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