RF Power변화에 의한 CdTe 박막에 관한 연구
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | 박정철 | - |
dc.date.accessioned | 2023-10-05T03:40:08Z | - |
dc.date.available | 2023-10-05T03:40:08Z | - |
dc.date.created | 2023-10-05 | - |
dc.date.issued | 2023-08 | - |
dc.identifier.issn | 2005-081X | - |
dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/gachon/handle/2020.sw.gachon/89200 | - |
dc.description.abstract | 본 논문은 스퍼터링 장비를 이용하여 ITO 유리 기판에 CdTe 박막을 RF Power로 변화주면서 CdTe 박막을 증착하였다. 박막의 두께를 측정한 결과, 100W 일 때 1481Å, 150W는 2985Å, 200W는 4684Å로 측정되었다. 그리고 이동도는 100W일 때 8.43cm2/Vs, 150W는 7.91cm2/Vs, 200W는 6.57cm2/Vs로 측정되었다. 시편의 두께와 이동도는 반비례한 한다는 것을 알 수가 있었다. 투과율을 확인한 결과, 100W 일 때 905nm에서 투과율은 84%, 150W는 825nm에서 투과율이 71%, 200W는 874nm에서 77%로 측정되었다. 이것은 시편의 두께가 100W일 때 시편의 두께가 얇았으므로 투과율이 높게 측정되었다. 즉 투과율과 두께의 상관관계를 알 수가 있는 부분이다. RF Power를 변화주어 반치폭과 입자의 크기를 측정한 결과, 반치폭은 100W일 때 0.18, 150W는 0.19, 200W는 0.73으로 계산되었다. 입자의 크기는 100W에서는 8.47Å, 150W에서는 7.98Å, 200W일 때 가장 큰 8.7Å으로 형성된 것으로 확인되었다. 결론적으로 반치폭과 입자 크기는 반비례하는 것을 알 수 있었다. | - |
dc.language | 한국어 | - |
dc.language.iso | ko | - |
dc.publisher | 한국정보전자통신기술학회 | - |
dc.relation.isPartOf | 한국정보전자통신기술학회 논문지 | - |
dc.title | RF Power변화에 의한 CdTe 박막에 관한 연구 | - |
dc.title.alternative | A Study on CdTe Thin Film by RF Power Change | - |
dc.type | Article | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.description.journalClass | 2 | - |
dc.identifier.bibliographicCitation | 한국정보전자통신기술학회 논문지, v.16, no.4, pp.187 - 192 | - |
dc.identifier.kciid | ART002988605 | - |
dc.description.isOpenAccess | N | - |
dc.citation.endPage | 192 | - |
dc.citation.startPage | 187 | - |
dc.citation.title | 한국정보전자통신기술학회 논문지 | - |
dc.citation.volume | 16 | - |
dc.citation.number | 4 | - |
dc.contributor.affiliatedAuthor | 박정철 | - |
dc.subject.keywordAuthor | CdTe | - |
dc.subject.keywordAuthor | ITO glass | - |
dc.subject.keywordAuthor | FHWM | - |
dc.subject.keywordAuthor | mobility | - |
dc.subject.keywordAuthor | RF Power | - |
dc.subject.keywordAuthor | transmittance | - |
dc.subject.keywordAuthor | sputtering | - |
dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
Items in ScholarWorks are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
1342, Seongnam-daero, Sujeong-gu, Seongnam-si, Gyeonggi-do, Republic of Korea(13120)031-750-5114
COPYRIGHT 2020 Gachon University All Rights Reserved.
Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.
You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.