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SCIE
SCOPUS
Effect of abrasive material properties on polishing rate selectivity of nitrogen-doped Ge2Sb2Te5 to SiO2 film in chemical mechanical polishing
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Park, Jin-Hyung; Clu, Hao; Yi, Sok-Ho;
Park, Jea-Gun
;
Paik, Ungyu
Article
Issue Date
2008
Citation
JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH, v.23, no.12, pp.3323 - 3329
Publisher
CAMBRIDGE UNIV PRESS
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