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SCIE
SCOPUS
Real-time detection of airborne dust particles using paddle-type silicon cantilevers
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Park, Bonghyun; Hong, Jiseok;
Lee, Seung-Beck
Article
Issue Date
2009
Citation
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, v.27, no.6, pp.3120 - 3124
Publisher
A V S AMER INST PHYSICS
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