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정전기력을 고려한 MEMS 가속도계 성능분석
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김형영 | - |
| dc.contributor.author | 유홍희 | - |
| dc.date.accessioned | 2022-07-16T15:48:08Z | - |
| dc.date.available | 2022-07-16T15:48:08Z | - |
| dc.date.created | 2021-05-13 | - |
| dc.date.issued | 2012-04 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/165766 | - |
| dc.language | 한국어 | - |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 대한기계학회 | - |
| dc.title | 정전기력을 고려한 MEMS 가속도계 성능분석 | - |
| dc.title.alternative | MEMS Accelerometer Performance Analysis Undertaking Electrostatic Force | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 유홍희 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 대한기계학회 2012년도 동역학 및 제어부문 춘계학술대회 논문집, no. , pp. 267 - 268 | - |
| dc.relation.isPartOf | 대한기계학회 2012년도 동역학 및 제어부문 춘계학술대회 논문집 | - |
| dc.citation.title | 대한기계학회 2012년도 동역학 및 제어부문 춘계학술대회 논문집 | - |
| dc.citation.startPage | 267 | - |
| dc.citation.endPage | 268 | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.type.docType | Proceeding | - |
| dc.description.journalClass | 3 | - |
| dc.description.isOpenAccess | N | - |
| dc.description.journalRegisteredClass | other | - |
| dc.identifier.url | https://www.dbpia.co.kr/journal/articleDetail?nodeId=NODE02081181 | - |
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