금속표면 제염을 위한 코발트의 플라즈마 식각반응연구
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | 전상환 | - |
dc.contributor.author | 김용수 | - |
dc.date.accessioned | 2022-12-21T03:49:41Z | - |
dc.date.available | 2022-12-21T03:49:41Z | - |
dc.date.created | 2022-09-19 | - |
dc.date.issued | 2008-03 | - |
dc.identifier.issn | 1738-1894 | - |
dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/178853 | - |
dc.description.abstract | 이 연구에서는 플라즈마 제염 기술의 실용화를 위해 CF₄/O₂, SF6/O₂, NF₃ 등의 반응성 플라즈마 기체를 이용하여 원자력 시설의 주요 오염원인 코발트 핵종에 대한 표면 제염 모의실험을 수행하였다. 디스크 형태의 금속코발트에 대하여 시편 표면 온도를 변수로 플라즈마 식각 실험을 수행한 결과 반응율은 420℃에서 NF₃ 기체의 경우 17.2 ㎛/min. 그리고 SF6와 CF₄/O₂ 기체의 경우 각각 2.56 ㎛/min.과 1.14 ㎛/min.이었으며, 이들 반응의 활성화에너지는 각각 39.4 kJ/mol, 42.1 kJ/mol, 116.0 kJ/mol이었다. 이와 함께 AES (Auger Electron Spectroscopy)를 이용하여 반응 생성물 성분 분석 결과 이들 반응의 주요 반응 기구는 코발트의 불화 반응임이 밝혀졌다. 이 연구를 통해 확보된 17 ㎛/min.의 금속 표면 식각율은 주요 반도체 공정의 식각율을 뛰어넘는 높은 식각율로 플라즈마 제염 기술의 실용화를 앞당길 수 있는 고무적인 결과라 할 수 있을 것이다. | - |
dc.language | 한국어 | - |
dc.language.iso | ko | - |
dc.publisher | 한국방사성폐기물학회 | - |
dc.title | 금속표면 제염을 위한 코발트의 플라즈마 식각반응연구 | - |
dc.title.alternative | A Study on Plasma Etching Reaction of Cobalt for Metallic Surface Decontamination | - |
dc.type | Article | - |
dc.contributor.affiliatedAuthor | 전상환 | - |
dc.contributor.affiliatedAuthor | 김용수 | - |
dc.identifier.bibliographicCitation | 방사성폐기물학회지, v.6, no.1, pp.17 - 23 | - |
dc.relation.isPartOf | 방사성폐기물학회지 | - |
dc.citation.title | 방사성폐기물학회지 | - |
dc.citation.volume | 6 | - |
dc.citation.number | 1 | - |
dc.citation.startPage | 17 | - |
dc.citation.endPage | 23 | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.identifier.kciid | ART001080731 | - |
dc.description.journalClass | 2 | - |
dc.description.isOpenAccess | N | - |
dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
dc.description.journalRegisteredClass | other | - |
dc.subject.keywordAuthor | 금속표면제염 | - |
dc.subject.keywordAuthor | 코발트 | - |
dc.subject.keywordAuthor | 반응성 플라즈마 식각 | - |
dc.subject.keywordAuthor | 오제전자분광법 | - |
dc.subject.keywordAuthor | Metal surface decontamination | - |
dc.subject.keywordAuthor | cobalt | - |
dc.subject.keywordAuthor | reactive plasma etching | - |
dc.subject.keywordAuthor | Auger electronspectroscopy | - |
dc.subject.keywordAuthor | Metal surface decontamination | - |
dc.subject.keywordAuthor | cobalt | - |
dc.subject.keywordAuthor | reactive plasma etching | - |
dc.subject.keywordAuthor | Auger electronspectroscopy | - |
dc.identifier.url | https://scienceon.kisti.re.kr/srch/selectPORSrchArticle.do?cn=JAKO200817154055974&SITE=CLICK | - |
Items in ScholarWorks are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
222, Wangsimni-ro, Seongdong-gu, Seoul, 04763, Korea+82-2-2220-1365
COPYRIGHT © 2021 HANYANG UNIVERSITY.
Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.
You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.