반도체 FAB 배기가스의 냉열 회수를 통한 외기조화기의 에너지 절감 성능 분석
DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 권택돈 | - |
dc.contributor.author | 이수진 | - |
dc.contributor.author | 정재원 | - |
dc.contributor.author | 이재희 | - |
dc.contributor.author | 김민성 | - |
dc.contributor.author | 정재원 | - |
dc.date.accessioned | 2023-08-01T07:09:36Z | - |
dc.date.available | 2023-08-01T07:09:36Z | - |
dc.date.created | 2023-07-20 | - |
dc.date.issued | 2022-11 | - |
dc.identifier.issn | 2713-4903 | - |
dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/188693 | - |
dc.description.abstract | 본 연구는 반도체 Fabrication Plant에서 배출되는 배기가스의 냉열 에너지를 회수하여 외기조화기에 적용하고, 이에 따른 하절기 에너지 절감 가능성을 검토 하였다. 일반적으로 반도체 FAB에서 배출되는 배기가스 중 30~40%는 제조장비의 발열을 제거 후 하절기 외기대비 낮은 습구온도로 대기방출 되는데, 이 배기가스를 일반배기라 하며, 일반배기로 부터 냉열에너지를 회수 후 외기조화기의 인입공기 냉방에 사용하였다. 배기를 활용하기 위해 냉각탑을 연결, 증발냉각을 통해 온도가 낮은 냉각수를 생산하고, 이를 외기조화기의 하절기 미사용 부동액 순환계와 열 교환하게 하여 냉각 코일전단에서 인입 공기 냉각효과가 발생 하게 하였다. 적용 결과 하절기 기준 외기조화기의 냉방 필요 열량의 11.9%줄일 수 있는 냉열 회수 가능성을 확인하였으며, 냉열 회수를 위해 소모된 전력까지 감안한 실제 에너지 절감율을 높이기 위해서는 냉각탑의 액기비 선정이 중요하게 고려되어야 하는 것으로 판단한다. | - |
dc.language | 한국어 | - |
dc.language.iso | ko | - |
dc.publisher | 대한설비공학회 | - |
dc.title | 반도체 FAB 배기가스의 냉열 회수를 통한 외기조화기의 에너지 절감 성능 분석 | - |
dc.title.alternative | Energy saving potential analysis of outdoor air conditioner by cold energy recovery of exhaust gas from semiconductor fabrication plant | - |
dc.type | Article | - |
dc.contributor.affiliatedAuthor | 정재원 | - |
dc.identifier.bibliographicCitation | 대한설비공학회 2022 동계학술발표대회 논문집, pp.21 - 24 | - |
dc.relation.isPartOf | 대한설비공학회 2022 동계학술발표대회 논문집 | - |
dc.citation.title | 대한설비공학회 2022 동계학술발표대회 논문집 | - |
dc.citation.startPage | 21 | - |
dc.citation.endPage | 24 | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.type.docType | Proceeding | - |
dc.description.journalClass | 2 | - |
dc.description.isOpenAccess | N | - |
dc.description.journalRegisteredClass | other | - |
dc.subject.keywordAuthor | Semiconductor fabrication plant(FAB) | - |
dc.subject.keywordAuthor | Clean Room(클린룸) | - |
dc.subject.keywordAuthor | Exhaust gas(배기) | - |
dc.subject.keywordAuthor | Outdoor Air-conditioner(외기조화기) | - |
dc.subject.keywordAuthor | Cold Energy recovery(냉열회수) | - |
dc.subject.keywordAuthor | Evaporative cooling(증발냉각) | - |
dc.identifier.url | https://www.dbpia.co.kr/journal/articleDetail?nodeId=NODE11224640 | - |
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