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공정 최적화를 통한 고순도 Mo 및 Mo 합금 스퍼터링 타겟 제조 기술
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김영도 | - |
| dc.date.accessioned | 2023-09-11T03:27:58Z | - |
| dc.date.available | 2023-09-11T03:27:58Z | - |
| dc.date.issued | 2023-04-06 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/190489 | - |
| dc.title | 공정 최적화를 통한 고순도 Mo 및 Mo 합금 스퍼터링 타겟 제조 기술 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 2023 한국분말재료학회 춘계학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 창원 컨벤션센터 | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 신소재공학부 > 2. Conference Papers
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