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금속방사성폐기물 제염공정 개발을 위한 NF3 플라즈마의 코발트 산화막 식각 반응
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김경민 | - |
| dc.contributor.author | 채산 | - |
| dc.contributor.author | 김용수 | - |
| dc.contributor.author | 전상환 | - |
| dc.date.accessioned | 2024-12-20T06:20:17Z | - |
| dc.date.available | 2024-12-20T06:20:17Z | - |
| dc.date.issued | 2012-05 | - |
| dc.identifier.issn | 1738-1142 | - |
| dc.identifier.issn | 1738-4338 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/202460 | - |
| dc.language | 한국어 | - |
| dc.language.iso | KOR | - |
| dc.publisher | 한국방사성폐기물학회 | - |
| dc.title | 금속방사성폐기물 제염공정 개발을 위한 NF3 플라즈마의 코발트 산화막 식각 반응 | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.publisher.location | 대한민국 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 한국방사성폐기물학회 춘계학술대회, v.10, no.1, pp 267 - 268 | - |
| dc.citation.title | 한국방사성폐기물학회 춘계학술대회 | - |
| dc.citation.volume | 10 | - |
| dc.citation.number | 1 | - |
| dc.citation.startPage | 267 | - |
| dc.citation.endPage | 268 | - |
| dc.type.docType | Proceeding | - |
| dc.description.isOpenAccess | N | - |
| dc.description.journalRegisteredClass | domestic | - |
| dc.identifier.url | https://www.earticle.net/Article/A176555 | - |
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