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하이브리드 인공신경망을 이용한 웨이퍼 온도 분포 예측 기법 및 센서 수 최적화에 관한 연구
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 소홍윤 | - |
| dc.date.accessioned | 2026-06-25T01:05:13Z | - |
| dc.date.available | 2026-06-25T01:05:13Z | - |
| dc.date.issued | 2025-06-18 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/215834 | - |
| dc.title | 하이브리드 인공신경망을 이용한 웨이퍼 온도 분포 예측 기법 및 센서 수 최적화에 관한 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 2025년도 한국통신학회 하계종합학술발표회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 제주 신화월드 | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 기계공학부 > 2. Conference Papers
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