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RF-magnetron sputtering 방법으로 증착한 IGZO 박막의 열처리 온도에 따른 구조적, 광학적 및 전기적 특성
- Authors
- 김태환
- Issue Date
- 25-Oct-2012
- Publisher
- 한국물리학회
- Citation
- 2012년 가을학술논문발표회 및 임시총회
- Conference Name
- 2012년 가을학술논문발표회 및 임시총회
- Place
- 보광휘닉스파크(평창)
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- Appears in
Collections - 서울 공과대학 > 서울 융합전자공학부 > 2. Conference Papers
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