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스퍼터링 및 후 열처리 기법에 의한 V3Si나노입자 형성과 비휘발성 메모리소자 응용
- Authors
- 김은규
- Issue Date
- 17-Nov-2011
- Publisher
- 한국진공학회
- Citation
- 제41회 한국진공학회 하계학술대회
- Conference Name
- 제41회 한국진공학회 하계학술대회
- Place
- 대구컨벤션뷰로
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- Appears in
Collections - 서울 자연과학대학 > 서울 물리학과 > 2. Conference Papers
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