화학증기수송법을 이용하여 제조된 몰리브덴 산화물박막의 전기변색특성

Abstract

몰리브댄 산화물 박막(Mo03 thin film)은 전기적 변색(착색) 현상(Electrochromic Effect)을 일으 키는 물질로 표시소자(display device)와 스마트 윈도우(smart window)등의 응용성 때문에 많은 각광을 받아왔다. 전기변색현상이란 외부에서 가해지는 전압에 따라 Li 이온과 같은 양이온을 전자와 함께 제조된 박막속으로 주입시킴으로 인하여 무색투명하던 박막이 채색을 띄는 현상이 며 역전압을 걸어 주변 다시 투명해지는 가역반응이다. 몰리브덴 산화물 박막을 제조하는 방법으로는 화학기상증착(chemical vapor deposition), 졸-겔 법 (sol-gel)， 증발법( evaporation), 스퍼터링( sputtering), 펄스레이저증착법 (pulsed laser deposition)등 의 방법이 었다. 이에 본 연구에서는 Mo03분말의 수소환원 과정 중에 발생하는 기상인 Mo03(OH)2의 화학증기 수송(chemical vapor transport)을 이용하여 몰리 브덴 산화물 박막(MoOx thin film)을 증착하고 이를 다시 산소분위기에서 어닐링을 통하여 몰리브멘 산화물 박막(Mo03 thin film) 제조하는 새로운 증착방법을 제안하고 이의 전기변색특성을 고찰하였다. 또한 전기변 색특성은 1M의 LiCI04가 용해되어있는 propylene carbonate(PC)용액을 전해질로 사용하여 土3V의 전압을 가하며 고찰하였다.