화학증기수송을 이용한 몰리브덴 산화물 박막증착

Abstract

전기변색특성은 전압변화에 따라 색상의 변화가 일어나는 특성을 말하는데 몰리브덴 산화물 박막은 전기변 색과 같은 우수한 광학적 특성으로 인하여 전기변색소자에 각광받고 있는 재료이다 이러한 몰리브댄 산화물 박막을 제조하는 방법에는 화학증기증착(chemical vapor deposition (CVD)), 증발법 (evaporation) ， 졸- 겔 코팅 법 (sol-gel coatin g), 스퍼터링 (RF magnetron sputtering), 펄스레이져증착법 (pulsed laser deposition (PLD)) 등이 주로 사 용되어왔다， 이에 본 연구에서는 몰리브멘 산화물 분말(MoO]) 의 수소환원시에 발생되는 화학증기수송(Chemical vapor tansport)을 이용하여 다양한 기판위에 몰리브덴 산화물 박막을 증착하고 이를 산화 열처리하여 MoO3 상 으로 변환하는 박막공정의 연구와 증착된 박막층의 광학특성에 관해 연구하고자 하였다 본 연구에서 사용된 화학증기수송에 의한 박막증착은 기존의 공정에 비해 매우 저렴하며，반응중에 유해하지 않은 부산물로 인해 환경친화적이며 또한 대형화가 가능한 공정으로 많은 응용이 기대된다，