화학증기수송법을 이용한 금속 몰리브덴 박막 증착

Abstract

몰리브덴 (Mo)은 우수한 전기전도도와 고온 안정성으로 인해 전자부품의 전극으로 널리 사용되고， 미래 에너지인 태양전지 분야에서 CIS계 화합물박막태양전지의 후면전극으로 이용되고 있는 재료로서 현재 증착 방법으로 는 D.C. sputtering 이 가장 널리 이용되고 있다 또한 MoO3 분말이 Mo 분말로 수소 환원되는 과정은 MoO3+H2 => Mo02+H20 와 Mo02+2H2 => Mo+2H20 의 2단계를 통해서 수행되며 이중 첫 번째 단계에서 Mo03(OH)2라는 기상을 통해 지배적으로 일어난다고 알려져있고 이를 화학증기수송(Chemical vapor transport CVT) 이라고 한다 본 연구에서는 Mo03분말의 수소 환원 과정 중에 발생하는 기상인 MoO3(OH)2 을 이용하여 몰리브덴 옥사이드 박막을 증착하고 이를 다시 수소분위기에서 수소 환원하는 증착 방법을 통해 균일하고 부착성이 우수한 Mo박막을 제조하고자 하였다 기판으로 사용된 Glass를 MoO3 분말 위에 홀더 를 이용하여 Mo02 박막을 증착하고 이를 다시 수소분 위기에서의 수소 환원을 통 해 Mo 박막을 성공적으로 제조하였다 제조 된 Mo박막의 결정구조 및 미세조직을 XRD 와 SEM을 통해 분석하였다