AFM을 이용한 Si 나노와이어의 기계적 물성 평가

Abstract

전자소자의 성능을 향상시키기 위하여, 기존 재료보다 뛰어난 전기적, 기계적 특성을 지닌 나노와이어를 소자에 적용하려는 연구들이 활발히 진행되고 있다. 하지만, 나노와이어의 기계적 물성에 대한 기초 데이터 및 평가 기법의 미비함은 나노와이어 의 활용 연구에 제한 요소로 작용하고 있다. 이를 극복하기 위 한 노력의 일환으로서 본 연구에서는 금속촉매를 이용한 기상- 액상-고상합성법(Vapor-Liquid-Solid)으로 성장시킨 Si 나노와이 어의 기계적 물성을 분석하였다. 나노와이어의 양 끝을 고정한 후 원자간힘현미경(Atomic Force Microscope, AFM)을 사용하 여 수직 및 수평 방향으로 하중을 인가하였고, 이로부터 얻은 하중-변위 곡선으로부터 시험조건에 따른 나노와이어의 기계적 거동 및 물성 값의 변화를 체계적으로 분석하였다.