급속열처리과정을 이용한 TiSi2 나노부유게이트 캐패시터의 제작 및 전기적 특성연구
DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 김은규 | - |
dc.date.accessioned | 2021-08-03T22:49:45Z | - |
dc.date.available | 2021-08-03T22:49:45Z | - |
dc.date.created | 2021-06-30 | - |
dc.date.issued | 2008-10-24 | - |
dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/63312 | - |
dc.publisher | 한국물리학회 | - |
dc.title | 급속열처리과정을 이용한 TiSi2 나노부유게이트 캐패시터의 제작 및 전기적 특성연구 | - |
dc.type | Conference | - |
dc.contributor.affiliatedAuthor | 김은규 | - |
dc.identifier.bibliographicCitation | 2008년 한국물리학회 가을 학술논문발표회 | - |
dc.relation.isPartOf | 2008년 한국물리학회 가을 학술논문발표회 | - |
dc.citation.title | 2008년 한국물리학회 가을 학술논문발표회 | - |
dc.citation.conferencePlace | 광주 김대중컨벤션센터 | - |
dc.type.rims | CONF | - |
dc.description.journalClass | 2 | - |
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