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다중도핑한 ZnO박막의 열처리영향
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김영도 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-03T23:36:16Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-03T23:36:16Z | - |
| dc.date.issued | 2008-06-19 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/64445 | - |
| dc.description.abstract | 양이온 금속원소(Al)와 음이온 할로게 원소(F) 및 수소를 다중 도핑한 ZnO 박막을 rf 마그네트론 스퍼터를 이용하여 코닝 글라스에 증착하여 도핑량과 진공중에서의 열처리에 따른 전기적 및 광학적 특성에 대하여 고찰하였다. 양이온이 할로겐 및 수소와 동시에 도핑될 시, 금속이온의 농도가 낮은 것이 TCO 박막의 전기적 특성 향상에 유리하게 작용하는 것으로 나타났으며, 동일한 F 함량에 대하여는 수소가 증가할수록 박막의 전깆거 특성이 향상되는 것으로 나타났다. 그러나 열처리에 따른 F와 H의 거동은 반대로 나타나서, 최적의 상대적인 도핑 조성이 있음을 시사하였고, 36.2cm/vs의 높은 홀이동도와 2.9*10^-4옴의 낮은 비저항을 가지는 ZnO계 박막의 제조가 가능하였다. | - |
| dc.title | 다중도핑한 ZnO박막의 열처리영향 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 한국전기전자재료학회 하계학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 설악한화리조트 | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 신소재공학부 > 2. Conference Papers
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