Fabrication of SnSiO2 for anode of thin film battery by Aerosol Flame Deposition.

Abstract

최근 전자기기의 소형화, 고집적화에 따라 MEMS, MAV 등과 같은 마이크로 시스템 분야에 대한 수요가 급증되고 있으며 이러한 차세대 정밀기기에 사용될 초소형 마이크로 배터리 개발의 필요성이 증가하고 있다. 최근에 개발되고 있는 음극물질의 경우 스퍼터링 방법을 이용하여 증착이 시도되고 있지만 증착율이 낮은 단점을 가지고 있다,. 하지만 본 연구에서는 AFD(Aerosol Flame Deposition)방법을 이용하여 Li-ion 배터리에서 쓰이는 anode물질을 쉽게 합성하여 증착시켰다. 합성물질로서 SnCl4와 SiCl4를 출발물질로 하여 화염가수분해 반응으로 SnSiO2 nano-powder를 합성하였다.. Tin-oxide는 Taguchi-type의 gas센서로서 수많은 분야에 적용되는 매우 유용한 물질이다. 최근 Fuji Film Celtech사에서 SnO2물질이 Li-ion 배터리의 anode물질로서 개발되었다. 또한 나노구조 size의 SnO2 전극은 800회 정도의 충방전 test동안 매우 높은 용량((~700mAhg-1 at a rate of 8C) 을 지닌다. 따라서 tin oxide를 기본으로 한 물질은 Li-ion 배터리에서 좋은 anode 물질로써의 가능성을 제시하고자 한다.