Preparation of Yttria Stabilized Zirconia Film for Electrolyte of Micro Fuel Cell By Aerosol Flame Deposition

Abstract

각종 모바일 기기들의 에너지원으로 사용하기 위해 연구중인 초소형 고체 연료전지의 전해질로 쓰일 YSZ(Yttria stabilized Zirconia)를 AFD(Aerosol Flame Deposition)법을 사용하여 Si-wafer위에 박막으로 증착하였다. 이 연구는 용액상태의 원료로부터 고체전해질인 YSZ 박막을 합성하기 위해 AFD법을 사용하였다. 그 결과 원형의 입자와 치밀한 구조의 모형으로 잘 합성 되어 있는 것을 관찰 할 수 있었고, 입자의 크기는 마이크로 이하의 범위에서 합성되는 것을 SEM을 통하여 관찰할수 있었다. 이 새로운 AFD방법은, 보다 저렴한 설비로 초소형 고체 연료전지의 대부분을 연속공정을 통하여 합성 할 수 있는 유망한 방법이라고 생각된다.