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탄소나노튜브 박막을 이용한 flexible gas sensor 제작 및 동작특성조사
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이승백 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-04T03:53:36Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-04T03:53:36Z | - |
| dc.date.issued | 2005-10-22 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/71406 | - |
| dc.description.abstract | 본 실험에서는 망구조로 이루어진 탄소나노튜브를 polymer 기판위에 대면적 박막을 형성을 하여 가스 센서를 제작, 가스 농도에 따른 전기적 동작 특성을 다양한 방법으로 관찰 하였다. Alumina membrane filter (20nm pore)를 이용한 진공 여과법으로 Sodium Dodecyl Sulfate 용액에 농도별로 초음파 분쇄기를 이용하여 분산된 탄소나노튜브를 박막 형태로 제작한 후, membrane으로부터 탄소 나노튜브박막을 polymer(PMMA, PDMS) 위로 분리 시킨 후, 열 증착법을 이용하여 금속전극을 형성하였다. 9mg/L 용액을 농도별 (약 900NT/μm2~27000NT/μm2)로 제작된 탄소나노튜브 박막 소자의 전기적 특성을 조사한 후, NH3(암모니아)가스 와 N2(질소)가스에 대한 sensitivity 1.09kΩ/2.7kΩ(RN2/RNH3)를 탄소나노튜브 박막의 저항비로 측정하였다. 또한 flexible 탄소나노튜브 박막 sensor의 refresh rate를 질소 gas flow rate, operational bias voltage등에 대하여 조사하였다. | - |
| dc.title | 탄소나노튜브 박막을 이용한 flexible gas sensor 제작 및 동작특성조사 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 한국물리학회 추계학술발표회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 전북대학교 | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 융합전자공학부 > 2. Conference Papers
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