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양성자 주입된 실리콘 반도체소자내의 깊은준위 결함분석
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김은규 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-04T05:50:11Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-04T05:50:11Z | - |
| dc.date.created | 2021-06-30 | - |
| dc.date.issued | 2004-08-20 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/74205 | - |
| dc.publisher | 한국진공학회 | - |
| dc.title | 양성자 주입된 실리콘 반도체소자내의 깊은준위 결함분석 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 김은규 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 제27회 한국진공학회 학술발표회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 제27회 한국진공학회 학술발표회 | - |
| dc.citation.title | 제27회 한국진공학회 학술발표회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 대구 컨벤션뷰로 | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
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Collections - 서울 자연과학대학 > 서울 물리학과 > 2. Conference Papers
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