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SBM 공정을 이용한 단일 실리콘 기판상에 제작된 병렬형 2축 가속도계
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 허건수 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-04T06:23:11Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-04T06:23:11Z | - |
| dc.date.issued | 2004-03-28 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/75229 | - |
| dc.title | SBM 공정을 이용한 단일 실리콘 기판상에 제작된 병렬형 2축 가속도계 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 한국 MEMS 학술대회 | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 미래자동차공학과 > 2. Conference Papers
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