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STI CMP용 나노 세리아 슬러리에서 연마입자의 결정특성에 따른 평탄화 효율의 의존성
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 백운규 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-04T06:24:54Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-04T06:24:54Z | - |
| dc.date.issued | 2003-12-31 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/75349 | - |
| dc.title | STI CMP용 나노 세리아 슬러리에서 연마입자의 결정특성에 따른 평탄화 효율의 의존성 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 2003년 추계 한국재료학회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 연세대학교 | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 에너지공학과 > 2. Conference Papers
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- Paik, Ungyu
- COLLEGE OF ENGINEERING (DEPARTMENT OF ENERGY ENGINEERING)