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STI CMP용 나노 세리아 슬러리의 Non-Prestonian 거동에서 연마입자의 크기와 계면활성제의 농도가 미치는 영향
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 백운규 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-04T06:34:39Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-04T06:34:39Z | - |
| dc.date.issued | 2003-11-21 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/75483 | - |
| dc.title | STI CMP용 나노 세리아 슬러리의 Non-Prestonian 거동에서 연마입자의 크기와 계면활성제의 농도가 미치는 영향 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 2003년 추계 한국재료학회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 연세대학교 | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 에너지공학과 > 2. Conference Papers
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- Paik, Ungyu
- COLLEGE OF ENGINEERING (DEPARTMENT OF ENERGY ENGINEERING)