Co-dopant 첨가를 통한 고효율 집적형 광증폭기용 광도파막 제작

Abstract

Waveguide 형태의 광증폭기는 기존의 EDFA(Erbium Doped Fiber Amplifier)에 비하여 크기가 작고, 대량생산이 가능하므로 제조 원가를 낮출 수 있고, 여러 형태의 수동소자들을 하나의 칩에 제작하여 고기능의 복합소자를 제조할 수 있는 장점을 가지고 있다. 본 연구에서는 수동형 집적광소자의 제작에 사용되는 화염가수분해증착법(Flame Hydrolysis Deposition : FHD)을 이용하여 실리콘(Si)/실리카(SiO2) 광도파막을 제조하고, 이 박막에 Solution Doping 법을 이용하여 Er3+, Al3+, Lu3+ , Yb3+등의 dopant를 첨가하여 광증폭 매질을 제작하는 연구를 수행하였다. 제조된 Er 첨가 실리카 박막을 XRD 분석과 광학현미경을 통해 결정상을 확인하여 적절한 소결조건을 선정하였고, prism coupler를 통해 기본적 광학 특성인 굴절률을 측정하였다. 또한 형광분석을 통하여 1.55㎛고효율 집적형 광증폭기로의 응용가능성을 확인 하였다