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향상된 단면 연마 실리콘 웨이퍼가 화학적 기계적 연마에서 나노토포그래피에 미치는 영향의 스펙트럼 분석
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 백운규 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-04T08:20:59Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-04T08:20:59Z | - |
| dc.date.issued | 2002-05-18 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/78196 | - |
| dc.title | 향상된 단면 연마 실리콘 웨이퍼가 화학적 기계적 연마에서 나노토포그래피에 미치는 영향의 스펙트럼 분석 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 한국재료학회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 한양대학교 | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 에너지공학과 > 2. Conference Papers
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- Paik, Ungyu
- COLLEGE OF ENGINEERING (DEPARTMENT OF ENERGY ENGINEERING)