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수계분산매체에서 나노 SiO2 Powder의 분산
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 백운규 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-04T09:18:22Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-04T09:18:22Z | - |
| dc.date.issued | 2001-04-27 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/79641 | - |
| dc.description.abstract | 본 연구에서는 ILD(Interlayer Dielectric) CMP공정용 SiO2 슬러리 개발을 위해 수계시스템에서 나노 SiO2 입자의 계면화학 및 분산안정성에 관한 연구를 콜로이드 실리카와 비교 분석하였다. 수계분산매체에서 pH 변화에 따른 SiO2 입자의 전기적 거동을 비교하였으며, SiO2 현탁액의 유동학적 거동과 입도분포와 상호 연관 해석하였다. | - |
| dc.title | 수계분산매체에서 나노 SiO2 Powder의 분산 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 2001년도 춘계 한국세라믹학회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 인하대학교 | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 에너지공학과 > 2. Conference Papers
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- Paik, Ungyu
- COLLEGE OF ENGINEERING (DEPARTMENT OF ENERGY ENGINEERING)