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Computer generated phase mask를 이용한 격자 array 제작
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 오차환 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-04T09:20:53Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-04T09:20:53Z | - |
| dc.date.issued | 20010215 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/79809 | - |
| dc.description.abstract | 1 um 이상의 분해능을 갖는 하나의 위상형 마스크를 이용하여, 1nm 이하의 격자주기 차이를 갖는 격자 어레이를 하나의 기판에 동시에 제작할수 있는 방법을 제안하였다. | - |
| dc.title | Computer generated phase mask를 이용한 격자 array 제작 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 한국광학회 12회 정기총회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 한양대학교 | - |
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Collections - 서울 자연과학대학 > 서울 물리학과 > 2. Conference Papers
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- Oh, Cha Hwan
- COLLEGE OF NATURAL SCIENCES (DEPARTMENT OF PHYSICS)