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초음파 주사 현미경의 분해능 향상을 위한 중첩된 펄스 에코 신호의 분리기법
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 장경영 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-04T09:23:17Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-04T09:23:17Z | - |
| dc.date.issued | 2000-11-10 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/79969 | - |
| dc.description.abstract | 15MHz 정도의 초음파 주사 현미경 (SAM)을 이용하여 반도체 내부 실리콘 칩의 계면 들뜸을 검사하고자 할 때 문제되는 에코의 중첩을 분리함으로써 분해능을 향상시킬 수 있는 방법을 새롭게 제안하였다. 제안하는 방법은 웨이브렛 변환을 디컨볼루션에 선행하여 실시하는 방법으로 그 유효성을 시뮬레이션과 실험을 통해 검증하였다. | - |
| dc.title | 초음파 주사 현미경의 분해능 향상을 위한 중첩된 펄스 에코 신호의 분리기법 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 한국비파괴검사학회 2000추계 학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 서울 교육문화회관 | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 기계공학부 > 2. Conference Papers
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