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Off-axis Si(100) 기판에서의 화학적 산화막을 이용한 Co-sillicide 성장에 관한 연구
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 전형탁 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-04T09:51:21Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-04T09:51:21Z | - |
| dc.date.issued | 2000-01-26 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/80803 | - |
| dc.title | Off-axis Si(100) 기판에서의 화학적 산화막을 이용한 Co-sillicide 성장에 관한 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 제7회 한국 반도체 학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 고려대학교 | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 신소재공학부 > 2. Conference Papers
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