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승온중 수소 분위기 제어에 의한 선택적 Si 에피텍시 성장
손융훈; 박성계; 김상훈; 남승의; 김형준
Article
Issue Date
2002
Citation
한국재료학회지, v.12, no.5, pp.363 - 368
Publisher
한국재료학회
재료과학과 공학
김형준
Book
Issue Date
2007
Publisher
시그마프레스
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