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주사탐침열현미경의 감도향상을 위한 전체 실리콘 산화막 열전탐침의 열적설계 및 일괄제작
정승필; 김경태; 원종보; 박승호; 최영기; 이준식; 권오명
Article
Issue Date
2008
Citation
대한기계학회논문집 B, v.32, no.10, pp.800 - 809
Publisher
대한기계학회
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