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플래시 램프를 이용한 비정질 실리콘 결정화 공정에서의 유리기판 열변형
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김동현 | - |
| dc.contributor.author | 김병국 | - |
| dc.contributor.author | 김형준 | - |
| dc.contributor.author | 정하승 | - |
| dc.contributor.author | 박승호 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-12-02T05:42:39Z | - |
| dc.date.available | 2021-12-02T05:42:39Z | - |
| dc.date.created | 2021-11-29 | - |
| dc.date.issued | 2012 | - |
| dc.identifier.issn | 1226-4881 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hongik/handle/2020.sw.hongik/19276 | - |
| dc.description.abstract | 플래시 램프 열처리(Flash lamp annealing, FLA) 공정은 저온폴리실리콘의 생산을 위한 기술로써 대면적 기판용 실리콘 결정화 기술로 기대 받고 있는 기술이다. 본 연구에서는 FLA 공정 중 기판에 발생하는 변형의 원인에 대하여 이론적인 해석과 이를 토대로 시뮬레이션을 수행하였다. 상용 FEM 해석 프로그램에 고온에서의 유리의 점성에 대한 모델을 적용하여, 고온에서 유리의 구조적인 수축과 응력이완으로 인한 영구변형을 수치적으로 재현하였다. 0 세대 실험시편(2cm x 2cm)의 경우 중력의 영향이 미미하여서, 실험 결과와 일치하는 ‘U’모양의 변형이 남는 것을 확인하였고, 4 세대 기판(74cm x 94cm)의 경우 중력으로 인하여 ‘M’모양의 변형이 발생하는 것을 시뮬레이션하였다. | - |
| dc.language | 한국어 | - |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 대한기계학회 | - |
| dc.title | 플래시 램프를 이용한 비정질 실리콘 결정화 공정에서의 유리기판 열변형 | - |
| dc.title.alternative | Thermal Deformation of Glass Backplane during Flash Lamp Crystallization Process of Amorphous Silicon | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 정하승 | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 박승호 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 대한기계학회논문집 B, v.36, no.10, pp.1025 - 1032 | - |
| dc.relation.isPartOf | 대한기계학회논문집 B | - |
| dc.citation.title | 대한기계학회논문집 B | - |
| dc.citation.volume | 36 | - |
| dc.citation.number | 10 | - |
| dc.citation.startPage | 1025 | - |
| dc.citation.endPage | 1032 | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.identifier.kciid | ART001697300 | - |
| dc.description.journalClass | 1 | - |
| dc.description.journalRegisteredClass | scopus | - |
| dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
| dc.subject.keywordAuthor | 플래시 램프 결정화 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | 유리기판위 비정질 실리콘 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | 대면적 디스플레이 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | 열변형 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Flash Lamp Crystallization | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Amorphous Silicon on Glass | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Large-Window Display | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Thermal Deformation | - |
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