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집적광학 센서 응용에 적합한 실리콘 비공진 반사형 광도파로 최적화에 관한 연구A Study on the Optimization of Silicon Antiresonant Reflecting Optical Waveguides (ARROW) for Integrated Optical Sensor Applications
- Other Titles
- A Study on the Optimization of Silicon Antiresonant Reflecting Optical Waveguides (ARROW) for Integrated Optical Sensor Applications
- Authors
- 정홍식
- Issue Date
- 2010
- Publisher
- 한국인터넷방송통신학회
- Keywords
- 실리콘 포토닉스; 비공진 반사 광도파로; 집적광학 센서 트랜스듀서; 빔 전송방법(BPM); 광센서 네트워크
- Citation
- 한국인터넷방송통신학회 논문지, v.10, no.5, pp.153 - 160
- Journal Title
- 한국인터넷방송통신학회 논문지
- Volume
- 10
- Number
- 5
- Start Page
- 153
- End Page
- 160
- ISSN
- 2289-0238
- Abstract
- 집적광학 바이오센서 구조에 적합한 비공진 반사 광도파로(ARROW: Antiresonant Reflecting Optical Waveguides)의 Si(기판)/SiO2(클래딩)/Si3N4(비공진 클래딩)/SiO2(코어)/air 다층박막 립 광도파로에 대한 최적화를 BPM 전산해석 방법을 이용해서 수행하였다. 전송손실을 최소화하기에 적합한 비 공진 클래딩의 두께를 유도하였으며, 소산파와 깊은 관련이 있는 손실모드에 대해서 이론적으로 검토하였다. 전산해석을 통해서 전송손실을 최소화하기 위한 립 광도파로의 깊이, 폭, 굴절률과 클래딩의 두께를 각각 2.3㎛, 5㎛, 1.488, 그리고 0.11㎛로 계산되었다. 최적화된 제원으로 비공진 반사 광도파로의 2차원, 3차원 전송특성을 확인하였다.
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Related Researcher
- Jung, Hong sik
- Science & Technology (Department of Electronic & Electrical Convergence Engineering)