Plasma 처리한 유기 절연층을 갖는 유기 박막 트랜지스터의 전기적 특성 연구
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | 김연주 | - |
dc.contributor.author | 박재훈 | - |
dc.contributor.author | 김성인 | - |
dc.contributor.author | 최종선 | - |
dc.date.accessioned | 2022-03-14T08:42:51Z | - |
dc.date.available | 2022-03-14T08:42:51Z | - |
dc.date.created | 2022-03-14 | - |
dc.date.issued | 2004 | - |
dc.identifier.issn | 1225-8822 | - |
dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hongik/handle/2020.sw.hongik/26257 | - |
dc.description.abstract | 유기 절연층을 사용한 유기 박막 트랜지스터의 특성 향상을 위해 절연층 표면에 Ar 플라즈마 처리를 하였다. 플라즈마 처리는 절연체 표면의 화학적, 물리적 특성 변화를 통해 그 후에 이어지는 활성층 성막 시 분자들의 결정성을 향상시키기 위한 방법이다. 활성층으로 사용된 물질은 pentacene이며, 절연층으로 사용된 물질은 PVP(Poly-vinyl-phenol)이다. Pentacene는 약 10-6 Torr에서 0.5 Å/sec의 속도로, PVP는 spin coating법에 의해 각각 성막되었다. 형성된 절연층을 일정 시간동안 Ar 플라즈마 처리 한 후 각 소자의 전기적 특성을 측정하여 표면처리에 의한 특성 변화를 살펴보았다. | - |
dc.publisher | 한국진공학회 | - |
dc.title | Plasma 처리한 유기 절연층을 갖는 유기 박막 트랜지스터의 전기적 특성 연구 | - |
dc.title.alternative | A Study on the Electrical Characteristics of Organic Thin Film Transistor, OTFT With Plasma-Treated Gate Insulators | - |
dc.type | Article | - |
dc.contributor.affiliatedAuthor | 최종선 | - |
dc.identifier.bibliographicCitation | Applied Science and Convergence Technology, v.13, no.3, pp.99 - 102 | - |
dc.relation.isPartOf | Applied Science and Convergence Technology | - |
dc.citation.title | Applied Science and Convergence Technology | - |
dc.citation.volume | 13 | - |
dc.citation.number | 3 | - |
dc.citation.startPage | 99 | - |
dc.citation.endPage | 102 | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.identifier.kciid | ART000936176 | - |
dc.description.journalClass | 2 | - |
dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
dc.description.journalRegisteredClass | other | - |
dc.subject.keywordAuthor | Organic Thin Film Transistor | - |
dc.subject.keywordAuthor | Plasma Treatment | - |
dc.subject.keywordAuthor | Organic Thin Film | - |
dc.subject.keywordAuthor | Organic Semiconductor | - |
dc.subject.keywordAuthor | Organic Insulator | - |
dc.subject.keywordAuthor | 유기 박막트랜지스터 | - |
dc.subject.keywordAuthor | 플라즈마 처리 | - |
dc.subject.keywordAuthor | 유기 박막 | - |
dc.subject.keywordAuthor | 유기 반도체 | - |
dc.subject.keywordAuthor | 유기 절연체 | - |
dc.subject.keywordAuthor | Organic Thin Film Transistor | - |
dc.subject.keywordAuthor | Plasma Treatment | - |
dc.subject.keywordAuthor | Organic Thin Film | - |
dc.subject.keywordAuthor | Organic Semiconductor | - |
dc.subject.keywordAuthor | Organic Insulator | - |
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