신축 전자패키지 배선용 금속박막의 신축변형-저항 특성 I. Parylene F 중간층 및 PDMS 기판의 Swelling에 의한 영향
DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 박동현 | - |
dc.contributor.author | 오태성 | - |
dc.date.available | 2020-07-10T05:36:43Z | - |
dc.date.created | 2020-07-06 | - |
dc.date.issued | 2017 | - |
dc.identifier.issn | 1226-9360 | - |
dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hongik/handle/2020.sw.hongik/6425 | - |
dc.description.abstract | Polydimethylsiloxane (PDMS) 신축기판과 Au 박막 사이의 중간층으로서 parylene F의 적용 가능성을 분석하고, Au 박막의 스퍼터링 중에 발생하는 PDMS 기판의 swelling이 Au 박막의 신축변형-저항 특성에 미치는 영향을 분석하였다. Parylene F 중간층 없이 PDMS 기판에 스퍼터링한 150 nm 두께의 Au 박막은 11.7 Ω의 초기저항을 나타내었으며, 12.5%의 인장변형률에서 저항의 overflow가 발생하였다. 반면에 150 nm 두께의 parylene F 중간층을 갖는 Au 박막의 초기저항은 1.21 Ω이었으며 30% 인장변형률에서 저항이 246 Ω으로 저항증가비가 현저히 낮아졌다. PDMS 기판의swelling이 발생함에 따라 30% 인장변형률에서 Au 박막의 저항이 14.4 Ω으로 크게 저하되었다. | - |
dc.language | 한국어 | - |
dc.language.iso | ko | - |
dc.publisher | 한국마이크로전자및패키징학회 | - |
dc.title | 신축 전자패키지 배선용 금속박막의 신축변형-저항 특성 I. Parylene F 중간층 및 PDMS 기판의 Swelling에 의한 영향 | - |
dc.title.alternative | Stretchable Deformation-Resistance Characteristics of Metal Thin Films for Stretchable Interconnect Applications I. Effects of a Parylene F Intermediate Layer and PDMS Substrate Swelling | - |
dc.type | Article | - |
dc.contributor.affiliatedAuthor | 오태성 | - |
dc.identifier.bibliographicCitation | 마이크로전자 및 패키징학회지, v.24, no.3, pp.27 - 34 | - |
dc.relation.isPartOf | 마이크로전자 및 패키징학회지 | - |
dc.citation.title | 마이크로전자 및 패키징학회지 | - |
dc.citation.volume | 24 | - |
dc.citation.number | 3 | - |
dc.citation.startPage | 27 | - |
dc.citation.endPage | 34 | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.identifier.kciid | ART002275700 | - |
dc.description.journalClass | 2 | - |
dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
dc.subject.keywordAuthor | stretchable packaging | - |
dc.subject.keywordAuthor | stretchable interconnect | - |
dc.subject.keywordAuthor | metal thin film | - |
dc.subject.keywordAuthor | Au film | - |
dc.subject.keywordAuthor | PDMS | - |
dc.subject.keywordAuthor | parylene | - |
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