PDP공정을 이용한 가스 방식의 디지털 X-ray 영상 센서Gas Typed Digital X-ray Image Sensor Using PDP Fabrication Process
- Other Titles
- Gas Typed Digital X-ray Image Sensor Using PDP Fabrication Process
- Authors
- 김창만; 김시형; 남기창; 김상희; 송광섭
- Issue Date
- 2012
- Publisher
- 대한전자공학회
- Keywords
- 디지털 영상 센서; X-ray 영상 센서; 가스 방식 영상 센서; 스캔 방식 영상 센서; PDP
- Citation
- 전자공학회논문지, v.49, no.9, pp.322 - 327
- Journal Title
- 전자공학회논문지
- Volume
- 49
- Number
- 9
- Start Page
- 322
- End Page
- 327
- URI
- https://scholarworks.bwise.kr/kumoh/handle/2020.sw.kumoh/19213
- ISSN
- 2287-5026
- Abstract
- 마주보는 2개의 병렬전극을 이용한 스캔 방식의 디지털 X-ray 영상 센서는 많은 발전을 해왔으며 상업용으로 널리 이용되고 있다. 본 연구에서는 PDP(plasma display panel) 제조 공정에서 사용되고 있는 글라스 재질에 silver paste 전극을 이용하여 드리프트 전극과 픽셀 전극이 있는 챔버를 형성하고 챔버내에 X-ray와 반응하는 Xe 가스를 주입하여 스캔 방식의 1D X-ray 영상 센서를 제작하였다. 드리프트 전극의 바이어스 전압 크기에 따른 싱글 픽셀의 X-ray 신호 크기를 평가하였으며 납(Pb)을 이용하여 싱글 픽셀을 차폐하였을 경우와 차폐하지 않았을 때의 싱글 픽셀 신호 특성을 조사하였다. X-ray 흡수율(4%)은 소다 라임(soda lime, 1.1㎜) 글라스에서 가장 낮았으며 센서에서 검출되는 전기적 신호는 드리프트 전극에 인가하는 전압이 클수록 증가하였다. 그리고 자체 제작한 DAS(data acquisition system) 및 센서 스캐닝 시스템을 이용하여 디지털 영상을 구현하였다.
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