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기판 부근의 자기장이 RF 스퍼터링법으로 증착된 ITO 박막의 특성에 미치는 영향
김현수;
김창교
; 장호원; 강종윤; 김진상; 윤석진
Article
Issue Date
2012
Citation
전기전자재료학회논문지, v.25, no.7, pp 563 - 568
Publisher
한국전기전자재료학회
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