UV NIL공정에서 액적의 양과 도포방법에 따른 기포형성 연구
DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 이기연 | - |
dc.contributor.author | 김국원 | - |
dc.date.accessioned | 2021-08-12T01:44:28Z | - |
dc.date.available | 2021-08-12T01:44:28Z | - |
dc.date.created | 2021-06-17 | - |
dc.date.issued | 2013 | - |
dc.identifier.issn | 1975-4701 | - |
dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/sch/handle/2021.sw.sch/14231 | - |
dc.description.abstract | 최근 나노임프린트 리소그래피 공정이 마이크로/나노 스케일의 소자 개발에 있어서 경제적으로 대량 생산할 수 있는 기술로 주목 받고 있다. 최근 나노임프린트 기술은 공정의 고속화 및 대면적화를 통한 대량생산 기술로의 전환을 목표로 하고 있다. 자외선경화 방식의 나노임프린트의 경우 상온 및 저압의 장점과 함께 비진공 환경에서 공정이 가능하다면 진공챔버 및 고압 스테이지 등과 같은 고가의 장비가 필요 없게 됨으로써 설비비용을 낮추고 공정시간을 단축하는데 큰 기여를 할 수 있다. 그러나 비진공 환경에서는 기포결함이 종종 발생하게 된다. 본 연구에서는 비진공 환경에서의 자외선경화 방식의 나노임프린트 공정 중 레지스트의 액적도포 방법에 따른 기포형성을 연구하였다. 액적의 양과 액적의 수를 달리하여 도포한 레지스트에 대하여 충전 후 기포결함 발생을 분석하였다. | - |
dc.language | 한국어 | - |
dc.language.iso | ko | - |
dc.publisher | 한국산학기술학회 | - |
dc.title | UV NIL공정에서 액적의 양과 도포방법에 따른 기포형성 연구 | - |
dc.title.alternative | A Study on the Formation of Air Bubble by the Droplet Volume and Dispensing Method in UV NIL | - |
dc.type | Article | - |
dc.contributor.affiliatedAuthor | 김국원 | - |
dc.identifier.doi | 10.5762/KAIS.2013.14.9.4178 | - |
dc.identifier.bibliographicCitation | 한국산학기술학회논문지, v.14, no.9, pp.4178 - 4184 | - |
dc.relation.isPartOf | 한국산학기술학회논문지 | - |
dc.citation.title | 한국산학기술학회논문지 | - |
dc.citation.volume | 14 | - |
dc.citation.number | 9 | - |
dc.citation.startPage | 4178 | - |
dc.citation.endPage | 4184 | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.identifier.kciid | ART001807900 | - |
dc.description.journalClass | 2 | - |
dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
dc.subject.keywordAuthor | Air bubble formation | - |
dc.subject.keywordAuthor | Dispensing method | - |
dc.subject.keywordAuthor | Droplet volume | - |
dc.subject.keywordAuthor | Non-vacuum environment | - |
dc.subject.keywordAuthor | UV NIL | - |
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