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OTHER
LCD 제조용 스퍼터링 장비의 비접촉식 유리 평판 이송 장치에 대한 수치적 연구
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강우진; 임익태; 김우승
Article
Issue Date
2007
Citation
1. 한국 반도체 및 디스플레이 장비 학회 2007년도 추계학술대회, pp.149 - 156
Publisher
한국 반도체 및 디스플레이 장비 학회
KCI
반도체 공정장비 Gas Scrubber의 에너지 모니터링 시스템개발
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김선만; 임익태; 안강호
Article
Issue Date
2011
Citation
반도체디스플레이기술학회지, v.10, no.2, pp.13 - 17
Publisher
한국반도체디스플레이기술학회
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