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SCIE
SCOPUS
Throughput compensation through optical proximity correction for realization of an extreme ultraviolet pellicle
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Ko, Ki-Ho; Mo, Soo-Yeon; Kim, In-Seon; Oh, Hye-Keun
Article
Issue Date
2016
Citation
JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS, v.15, no.2
Publisher
SPIE-SOC PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS
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