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합성곱 장단기기억 신경망을 이용한 웨이퍼 평탄화 공정의 연마율 가상계측 및 공정변수 중요도 정량화
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김병훈 | - |
| dc.date.accessioned | 2022-07-19T03:02:03Z | - |
| dc.date.available | 2022-07-19T03:02:03Z | - |
| dc.date.issued | 2022-06-03 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/erica/handle/2021.sw.erica/109982 | - |
| dc.title | 합성곱 장단기기억 신경망을 이용한 웨이퍼 평탄화 공정의 연마율 가상계측 및 공정변수 중요도 정량화 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 한국경영과학회/대한산업공학회 2022 춘계공동학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 라마다프라자 제주 | - |
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- ERICA 공학대학 (DEPARTMENT OF INDUSTRIAL & MANAGEMENT ENGINEERING)