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이중구조센서 트랜스포머 이용한 화학기계적 연마 공정의 재료제거율 예측 및 공정 진단 방법
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김병훈 | - |
| dc.date.accessioned | 2024-06-30T04:31:57Z | - |
| dc.date.available | 2024-06-30T04:31:57Z | - |
| dc.date.issued | 2024-05-02 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/erica/handle/2021.sw.erica/119641 | - |
| dc.title | 이중구조센서 트랜스포머 이용한 화학기계적 연마 공정의 재료제거율 예측 및 공정 진단 방법 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 2024년 춘계공동학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 여수 엑스포컨벤션 센터 | - |
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- ERICA 공학대학 (DEPARTMENT OF INDUSTRIAL & MANAGEMENT ENGINEERING)