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극자외선 리소그래피용 펠리클 막 지지를 위한 육각형 그물구조의 광학적 특성 연구
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 오혜근 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-06-22T20:28:45Z | - |
| dc.date.available | 2021-06-22T20:28:45Z | - |
| dc.date.created | 2020-12-17 | - |
| dc.date.issued | 2013-04-10 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/erica/handle/2021.sw.erica/18985 | - |
| dc.publisher | 광학회 | - |
| dc.title | 극자외선 리소그래피용 펠리클 막 지지를 위한 육각형 그물구조의 광학적 특성 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 오혜근 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 차세대 리소그래피 학술대회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 차세대 리소그래피 학술대회 | - |
| dc.citation.title | 차세대 리소그래피 학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 대한민국 | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
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