실리콘 표면에 증착된 다공성 알루미나의 수분 흡착 거동
DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | Lim, Hyo ryoung | - |
dc.contributor.author | Eom, Nu si a | - |
dc.contributor.author | Cho, Jeong ho | - |
dc.contributor.author | Choa, Yong Ho | - |
dc.date.accessioned | 2021-06-22T21:41:55Z | - |
dc.date.available | 2021-06-22T21:41:55Z | - |
dc.date.created | 2021-01-22 | - |
dc.date.issued | 2015-06 | - |
dc.identifier.issn | 0304-128X | - |
dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/erica/handle/2021.sw.erica/20558 | - |
dc.description.abstract | 게터는 반도체와 초소형 전자패키지 소자 내부의 수소와 수증기 같은 기체를 흡착하여 기기 작동 시 방해 기체를 제거하는 기능을 한다. 본 연구에서는 재료와 공정 측면에서 높은 가격 경쟁력을 갖는 게터로, 실리콘 기판에 올라간 다공성 알루미나 구조체를 제조하는 연구를 진행하였다. 기공의 크기가 조절된 양극산화 알루미나(AAO)는 높은 비표면적을 가지며 표면에 OH-기를 다수 포함하므로 높은 효율을 갖는 수분 흡착제로 사용되었다. 등온 수분 흡탈착 곡선으로 분석한 수분 흡착도는 상대습도 35%일 때 2.02%로 우수한 성능을 나타내었다. 즉, 저온에서 사용가능하며, 추가 열원이 필요하지 않아 박막구조의 소형화가 용이하여 내부 손상 및 오염을 방지할 수 있는 게터재를 합성하였다. | - |
dc.language | 한국어 | - |
dc.language.iso | ko | - |
dc.publisher | 한국화학공학회 | - |
dc.title | 실리콘 표면에 증착된 다공성 알루미나의 수분 흡착 거동 | - |
dc.title.alternative | Moisture Gettering by Porous Alumina Films on Textured Silicon Wafer | - |
dc.type | Article | - |
dc.contributor.affiliatedAuthor | Choa, Yong Ho | - |
dc.identifier.doi | 10.9713/kcer.2015.53.3.401 | - |
dc.identifier.scopusid | 2-s2.0-84930508883 | - |
dc.identifier.bibliographicCitation | Korean Chemical Engineering Research(HWAHAK KONGHAK), v.53, no.3, pp.401 - 406 | - |
dc.relation.isPartOf | Korean Chemical Engineering Research(HWAHAK KONGHAK) | - |
dc.citation.title | Korean Chemical Engineering Research(HWAHAK KONGHAK) | - |
dc.citation.volume | 53 | - |
dc.citation.number | 3 | - |
dc.citation.startPage | 401 | - |
dc.citation.endPage | 406 | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.type.docType | Article | - |
dc.identifier.kciid | ART001994150 | - |
dc.description.journalClass | 1 | - |
dc.description.isOpenAccess | N | - |
dc.description.journalRegisteredClass | scopus | - |
dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
dc.subject.keywordAuthor | Getter | - |
dc.subject.keywordAuthor | Moisture Adsorption | - |
dc.subject.keywordAuthor | Solution Process | - |
dc.subject.keywordAuthor | Anodizing | - |
dc.subject.keywordAuthor | Anodic Aluminum Oxide | - |
dc.identifier.url | http://koreascience.or.kr/article/JAKO201517058945194.page | - |
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